一、產(chǎn)品介紹：

KYKY-EM69系列鎢燈絲掃描電子顯微鏡

成像質(zhì)量出色、拓展性豐富、兼容低真空模塊、自動(dòng)功能強(qiáng)大，結(jié)合眾多自動(dòng)化功能，可幫助您在材料科學(xué)、生命科學(xué)或工業(yè)領(lǐng)域等進(jìn)行科學(xué)研究及失效分析。

二、產(chǎn)品特點(diǎn)：

采用雙陽(yáng)極設(shè)計(jì)，低電壓下分辨率和成像質(zhì)量更高;

樣品臺(tái)和倉(cāng)門(mén)一體化設(shè)計(jì)，方便換樣，同時(shí)可選配多功能超大樣品倉(cāng);

樣品定位與保護(hù)功能，紅外CCD功能實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)樣品位置，軟件可根據(jù)樣品尺寸開(kāi)啟保護(hù)功能，防止樣品碰撞，樣品臺(tái)碰撞瞬間可自動(dòng)停止工作。

三、拓展功能：擴(kuò)展接口≥13個(gè)，可以拓展多種附件以及提供多種定制化服務(wù)以及解決方案。

四、電子束曝光功能：

掃描電鏡改造為電子束曝光系統(tǒng)（EBL）后，能夠精確地控制電子束的掃描路徑和能量沉積，從而實(shí)現(xiàn)高分辨率的圖形曝光。該系統(tǒng)采用先進(jìn)的電子束掃描控制技術(shù)，支持靈活多樣的圖案設(shè)計(jì)和精確控制，不僅具有電子束曝光功能，還保留了原SEM 的觀測(cè)功能，這使得用戶可以在同一臺(tái)設(shè)備上完成樣品的觀測(cè)和加工，提高了工作效率和便利性。

五、技術(shù)參數(shù)

六、產(chǎn)品功能

七、應(yīng)用案例